高纯气体(PurifiedGases)气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。 高纯氮气用途:在集成电路、半导体和电真空器件制造中作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。 高纯氦气用途:用作氦气球、氦气飞艇的填充气体,以取代其有高度可燃性的氢气;与高纯二氧化碳和高纯氮气一起用作二氧化碳激光切割机的激光气体;液氦用于核磁共振成像仪的超导磁体;跟医用氧气一起用于深海作业的呼吸气体;用作空调领域氦漏仪的检漏气体;跟高纯氩气一起用作特殊焊接的保护气体;用作气相色谱仪/气质联用仪等仪器的载气。 高纯氩气用途:在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生产优质钢的重要措施,每炼1t钢的氩气消耗量为1~3m3。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用氩作保护气。 以上简要说明了一些高纯气体的用途,如有其他疑问请与烟台飞鸢综合经营服务公司联系。